检测项目
1.数值孔径（NA）测量：精度0.02NA（依据ISO10934-2标准）
2.放大倍率误差：40物镜允许偏差≤1%（GB/T9247-2008）
3.工作距离校准：100油浸物镜≥0.13mm（ASTME1951-14）
4.像差校正精度：波前误差≤λ/4（λ=546.1nm）
5.透光率测试：400-700nm波段透过率≥92%
检测范围
1.半导体晶圆缺陷分析用100平场消色差物镜
2.生物显微镜60水浸荧光物镜
3.金属材料金相分析50无限远校正物镜
4.激光共聚焦显微镜20长工作距离物镜
5.纳米压印光刻用紫外波段特殊镀膜物镜
检测方法
1.ASTME1951-14《显微镜分辨率测试标准》
2.ISO10934:2006《光学和光子学显微镜物镜命名》
3.GB/T9247-2008《显微镜物镜系列》
4.ISO8039:2014《显微镜物镜螺纹连接尺寸》
5.GB/T19864.1-2013《体视显微镜第1部分:光学性能测试》
检测设备
1.ZygoVerifireMST干涉仪：波前像差测量精度λ/1000
2.OlympusFV3000共聚焦系统：轴向分辨率验证平台
3.NikonNIS-ElementsD定量分析软件：MTF曲线生成模块
4.ThorlabsBP209-VIS/M光谱仪：透射率测量范围350-1100nm
5.MitutoyoMF-U系列测微目镜：放大倍率校准精度0.1%
6.KeyenceVHX-7000数字显微镜：三维景深合成系统
7.JenoptikProgResGFscan扫描平台：自动对焦重复精度0.5μm
8.SchottKL1500LCD冷光源：色温稳定性50K/h
9.ZeissAxioImagerM2m电动载物台：定位精度0.1μm
10.AgilentCary7000分光光度计：紫外可见近红外全波段测试