高倍物镜检测

检测项目

1.数值孔径（NA）测量：精度0.02NA（依据ISO10934-2标准）

2.放大倍率误差：40物镜允许偏差≤1%（GB/T9247-2008）

3.工作距离校准：100油浸物镜≥0.13mm（ASTME1951-14）

4.像差校正精度：波前误差≤λ/4（λ=546.1nm）

5.透光率测试：400-700nm波段透过率≥92%

检测范围

1.半导体晶圆缺陷分析用100平场消色差物镜

2.生物显微镜60水浸荧光物镜

3.金属材料金相分析50无限远校正物镜

4.激光共聚焦显微镜20长工作距离物镜

5.纳米压印光刻用紫外波段特殊镀膜物镜

检测方法

1.ASTME1951-14《显微镜分辨率测试标准》

2.ISO10934:2006《光学和光子学显微镜物镜命名》

3.GB/T9247-2008《显微镜物镜系列》

4.ISO8039:2014《显微镜物镜螺纹连接尺寸》

5.GB/T19864.1-2013《体视显微镜第1部分:光学性能测试》

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波前像差测量精度λ/1000

2.OlympusFV3000共聚焦系统：轴向分辨率验证平台

3.NikonNIS-ElementsD定量分析软件：MTF曲线生成模块

4.ThorlabsBP209-VIS/M光谱仪：透射率测量范围350-1100nm

5.MitutoyoMF-U系列测微目镜：放大倍率校准精度0.1%

6.KeyenceVHX-7000数字显微镜：三维景深合成系统

7.JenoptikProgResGFscan扫描平台：自动对焦重复精度0.5μm

8.SchottKL1500LCD冷光源：色温稳定性50K/h

9.ZeissAxioImagerM2m电动载物台：定位精度0.1μm

10.AgilentCary7000分光光度计：紫外可见近红外全波段测试

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"高倍物镜检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。