检测项目

痕量元素分析：涵盖Li-U全元素谱系（检出限0.01-10 ppb）

同位素比值测定：δ13C/δ15N精度±0.1‰

有机污染物筛查：PAHs/PCBs等（定量限0.1-5 μg/kg）

表面吸附物表征：单层吸附量分辨率达10-3 ng/cm²

气体残留分析：H2/O2/N2（体积分数0.01-100 ppm）

检测范围

高纯金属材料：铝合金（AA 6061）、钛合金（Ti-6Al-4V）等

半导体晶圆：硅片（φ200mm）、GaAs衬底等

环境样本：土壤（GBW07401标准物质）、大气颗粒物（PM2.5）

生物医药材料：医用高分子（PEEK/PTFE）、植入器械表面涂层

工业制品：锂离子电池电极材料（NCM811）、核级锆合金管材

检测方法

ASTM E1252-17：金属材料GD-MS痕量元素分析规程

ISO 17294-2:2016：电感耦合等离子体质谱法测定水质重金属

GB/T 32465-2015：半导体材料表面污染物TOF-SIMS分析方法

GB/T 40111-2021：高纯石墨中杂质元素的测定方法

ISO 21392:2021：化妆品中重金属LC-ICP-MS联用检测标准

检测设备

Thermo Fisher Element 2 HR-ICP-MS：质量分辨率＞10,000（10%峰谷定义）

Agilent 8900 Triple Quadrupole ICP-MS/MS：MS/MS模式消除多原子干扰

Cameca IMS 7f-Auto SIMS：空间分辨率＜100 nm的微区成分分析

PerkinElmer NexION 5000 ICP-MS：三锥接口设计实现1-2% RSD稳定性

Shimadzu MALDI-8020：激光聚焦直径5 μm的分子量分布测定系统