检测项目
泄漏率测试：测量范围1×10⁻⁹~1×10⁻¹² Pa·m³/s
压力保持测试：工作压力0.1~10 MPa（绝压）
氦气渗透率分析：温度范围-50℃~200℃
多通道同步检漏：最大支持16个独立测试单元
循环寿命测试：累计循环次数≥5000次
检测范围
金属密封件（法兰/焊接接头/阀门）
真空设备（镀膜腔体/粒子加速器）
新能源组件（燃料电池双极板/锂电池外壳）
航天器件（推进剂贮箱/舱体密封结构）
医用包装（无菌器械袋/药品泡罩）
检测方法
ASTM E499-19：标准氦质谱真空检漏方法
ISO 20486:2017：泄漏量校准规范
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测
GB/T 34637-2017：真空技术氦质谱检漏方法
ASME BPVC Section V Art.10：承压设备检漏规程
检测设备
INFICON HLD5000：四极杆质谱仪，分辨率0.5 amu
LEYBOLD PHOENIX L300i：集成式真空系统（极限真空5×10⁻⁸ mbar）
Aglient 990：便携式检漏仪（响应时间＜1s）
CETA DC06：双通道氦回收系统（回收率≥95%）
TESCAN VEGA3：扫描电镜联用系统（定位精度±0.1μm）