检测项目
泄漏率灵敏度：1×10⁻⁹~1×10⁻¹² Pa·m³/s
响应时间：≤1秒（90%信号响应）
最小可检漏率：≤5×10⁻¹³ Pa·m³/s
本底噪声：＜1×10⁻¹¹ Pa·m³/s
校准精度：±5%（标准漏孔标定）
检测范围
真空系统组件：扩散泵、分子泵密封法兰
压力容器：LNG储罐焊缝、核级阀门
半导体设备：刻蚀腔体、PECVD反应室
医疗器械：血液透析器封装、人工心脏瓣膜
航天部件：推进剂贮箱、舱门密封结构
检测方法
ASTM E499-14：质谱仪示踪气体检漏标准方法
ISO 20485:2017：非破坏性测试-泄漏检测方法
GB/T 12604.7-2021：无损检测术语-泄漏检测
GB/T 34635-2017：真空技术-氦质谱检漏方法
ASME BPVC Section V Art.10：承压设备检漏规范
检测设备
Agilent HLD1000：四极杆质谱系统，分辨率0.5amu
INFICON ASM 340：磁偏转质谱仪，检测下限5×10⁻¹³ mbar·L/s
LEYBOLD PHOENIX L300i：双通道检漏模式（真空/吸枪）
Pfeiffer HLT560：全金属真空系统，耐高温150℃
SHIMADZU MSQ-TQ3：三重四极杆串联质谱系统