氦检泄漏率测试

可送检的样品类型与对应检测项目

检测项目

1. 氦质谱真空检漏漏率定量：被检件接检漏仪抽真空，外侧喷氦或套氦罩施氦，由质谱室直接读出漏率，常规配置最小可检漏率可达十的负十一次方帕立方米每秒量级，具体以所用仪器标定结果为准。

2. 吸枪法泄漏定位与定量：被检件内部充氦加压，吸枪探头沿焊缝、法兰与密封部位逐点扫描，既能定位泄漏通道又能按包罩收集方式换算漏率。

3. 背压法气密筛选：密封元器件先置于充氦罐加压保压，清洗表面吸附氦后转入真空复检，以复检漏率判定气密性，适合大批量小容积件筛查。

4. 漏率单位换算与等级评定：漏率以帕立方米每秒为主单位记录，毫巴升每秒按1毫巴升每秒等于0.1帕立方米每秒换算，评定时注明试验模式与施氦方式以保证口径一致。

5. 仪器灵敏度核查与校准：用渗氦型标准漏孔核查整机最小可检漏率，常用标称漏率为1.0至2.0乘10的负8次方帕立方米每秒档，校准程序按GB/T 18193-2000执行。

检测范围

1. 阀门与承压壳体：闸阀、截止阀、球阀及其阀体焊缝，覆盖水压气密初检后的漏率定量复核。

2. 管法兰连接系统：法兰接头与垫片组件，含垫片参数测定与连接紧密度分级评定。

3. 密封电子元器件：金属或陶瓷封接的继电器、晶振、密封传感器等小容积气密件。

4. 低温与真空装备：冷箱内低温管路、液化天然气储运设备、真空炉膛与真空管道焊缝。

5. 核级与高纯系统部件：核燃料棒及棒束、聚变堆高温承压部件、高纯气体输送管路与真空腔体。

检测方法

1. GB/T 15823-2009 无损检测 氦泄漏检测方法

2. GB/T 36176-2018 真空技术 氦质谱真空检漏方法

3. GB/T 32293-2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择

4. GB/T 35049-2018 真空技术 四极质谱检漏方法

5. GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准

6. GB/T 13979-2008 质谱检漏仪

7. GB/T 13927-2022 工业阀门 压力试验

检测设备

1. 氦质谱检漏仪（中科科仪ZQJ-230D型）：最小可检漏率约5乘10的负11次方帕立方米每秒，响应时间不超过3秒，真空法与吸枪法双模式配置，承担漏率定量测量。

2. 四极质谱检漏仪：四极杆滤质器按质荷比分离氦离子，对应GB/T 35049-2018的四极质谱检漏路径，用于真空系统检漏。

3. 渗氦标准漏孔组件：利用氦对石英及玻璃的高渗透性制成，常用标称漏率1.0至2.0乘10的负8次方帕立方米每秒档，供整机灵敏度核查。

4. 吸枪探头组件：毛细取样探头配载气吹扫，用于充压件的表面泄漏点定位扫描。

5. 收集包罩与流量计量装置：整体包络收集泄漏氦气，配套流量计量换算总漏率。

6. 背压检漏充压罐：对批量小容积元器件充氦加压并保压，配清洗脱附工位减少表面吸附干扰。

7. 真空机组：前级泵与高真空泵组合，为被检件与检漏仪质谱室提供工作真空。

8. 差压式气密检漏仪：以参考容积与被检容积的差压变化判漏，作为大批量筛选的比对手段，仪器要求见GB/T 25752-2010。

9. 卤素气体检漏仪：卤素示踪定位的对比手段，仪器要求见GB/T 31473-2015，用于不便施氦的场合初查。

10. 数据采集系统：同步记录压力、温度与漏率随时间变化曲线，为漏率评定与复测比对留档。